各類電子行業(yè)凈化車間潔凈度要求

產(chǎn)品、工序

潔凈度等級

控制粒徑（μm）

半導體材料

拉單晶

6-8

0.5

切、磨、拋

5-7

0.3-0.5

清洗

4-6

0.3-0.5

外延

4-6

0.3-0.5

芯片制造

氧化、擴散、清洗、

刻蝕、薄膜、離子注入、CMP

2-5

0.1-0.5

光刻

1-5

0.1-0.3

檢測

3-6

0.2-0.5

設(shè)備區(qū)

6-8

0.3-0.5

封裝

劃片、鍵合

5-7

0.3-0.5

封裝

6-8

0.3-0.5

TFT-LCD

（液晶平板顯示器）

陣列板（薄膜、光刻、刻蝕、剝離）

2-5

0.2-0.3

成盒（涂復、摩擦、液晶注入、切割、磨邊）

3-6

0.2-0.3

模塊

4-6

0.3-0.5

彩膜板

2-5

0.2-0.3

STN-LCD

6-7（局部5級）

0.3-0.5

HDD（硬盤驅(qū)動器）

制造區(qū)

3-4

0.1-0.3

其他區(qū)

6-7

0.3-0.5

PDP（等離子顯示屏）

核心區(qū)

6-7

0.5

支持區(qū)

7-8

0.5

鋰電池

干工藝

6-7

0.5

其他區(qū)

7-8

0.5

彩色顯像管

涂屏、電子槍裝配、

熒光粉

6-7

0.5

錐石墨涂覆、蔭罩裝配

8

0.5

表面處理

5-7

0.5

電子儀器、微型計算機裝配

8

（0.5）

高密磁帶制造

6-8（局部5級）

（0.5）

印制版的照相、制版、干膜

7-8

（0.5）

光導纖維

預制棒

6-7

0.3-0.5

拉絲

5-7

0.3-0.5

光盤制造

6-8

0.3-0.5

磁頭生產(chǎn)

核心區(qū)

5

0.3

清洗區(qū)

6

0.3

片式陶瓷電容、片式電阻等制造

絲印、流延

8

0.5

聲表面波器件制造

鍍膜、清洗、劃片、封帽

6

0.5